Fabricación de patrones unidemensionales utilizando litografía por interferencia mediante un espejo de Lloyd

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Ramírez Chaverri, Daniel
Weitere Verfasser:	Vega Garita, Víctor Ernesto. 1986- Director de Proyecto Eléctrico
Format:	Buch
Sprache:	Spanish
Veröffentlicht:	[San José], Costa Rica 2015
Schlagworte:	INGENIERIA OPTICA > INTERFEROMETROS > NANOESTRUCTURAS > LITOGRAFIA DE HACES ELECTRONICOS > ESPEJOS > LASERS > NANOESTRUCTURAS - FABRICACION - TECNICAS
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